CMOS芯片测试机

当自动上料装置40的位于较上方的tray盘中的50个芯片全部完成测试后，50个芯片中出现1个或2个不合格品时，此时自动下料装置50的tray盘没有放满50个芯片。则此时该测试方法还包括以下步骤：将自动上料装置40的空的tray盘移载至中转装置60，然后从自动上料装置40的下一个tray盘中吸取芯片进行测试，并将测试合格的芯片放置到自动下料装置50，直至自动下料装置50的tray盘中放满测试合格的芯片，然后将中转装置60的空的tray盘移载至自动下料装置50。芯片测试机可以进行传输门延时测试，用于检测电路的延时性能。CMOS芯片测试机

这些电路的小尺寸使得与板级集成相比，有更高速度，更低功耗（参见低功耗设计）并降低了制造成本。这些数字IC，以微处理器、数字信号处理器和微控制器为表示，工作中使用二进制，处理1和0信号。扩展资料：在使用自动测试设备（ATE）包装前，每个设备都要进行测试。测试过程称为晶圆测试或晶圆探通。晶圆被切割成矩形块，每个被称为晶片（“die”）。每个好的die被焊在“pads”上的铝线或金线，连接到封装内，pads通常在die的边上。CMOS芯片测试机芯片测试机可以为芯片测试工程师提供可靠的测试报告。

本发明在另一实施例中公开一种芯片测试机的测试方法。该测试方法包括以下步骤：将多个待测试芯片放置于多个tray盘中，每一个tray盘中放置多个待测试芯片，将多个tray盘放置于自动上料装置，并在自动下料装置及不良品放置台上分别放置一个空tray盘；移载装置从自动上料装置的tray盘中取出待测试芯片移载至测试装置进行测试；芯片测试完成后，移载装置将测试合格的芯片移载至自动下料装置的空tray盘中，将不良品移载至不良品放置台的空tray盘中；当自动上料装置的一个tray盘中的待测试芯片全部完成测试，且自动下料装置的空tray盘中放满测试合格的芯片后，移载装置将自动上料装置的空tray盘移载至自动下料装置。

集成电路芯片的测试（ICtest）分类包括：分为晶圆测试（wafertest）、芯片测试（chiptest）和封装测试（packagetest）wafertest是在晶圆从晶圆厂生产出来后，切割减薄之前的测试。其设备通常是测试厂商自行开发制造或定制的，一般是将晶圆放在测试平台上，用探针探到芯片中事先确定的测试点，探针上可以通过直流电流和交流信号，可以对其进行各种电气参数测试。对于光学IC，还需要对其进行给定光照条件下的电气性能测试。晶圆测试主要设备：探针平台。辅助设备：无尘室及其全套设备。芯片测试机可以进行结构测试，用于测量芯片的延迟和功耗等参数。

Probe Card---乃是Tester与wafer上的DUT之间其中一个连接介面，目的在连接Tester Channel 与待测DUT。大部分为钨铜或铍铜，也有钯等其他材质；材质的选择需要强度高、导电性及不易氧化等特性，样子如下面所示。当 probe card 的探针正确接触wafer内一顆 die的每个bond pads后, 送出start信号通过Interface给tester开始测试, tester完成测试送回分类讯号 ( End of test) 给Prober, 量产時必須 tester 与 prober 做连接(docking) 才能测试。较终测试(FT,或者封装测试)：就是在图（3）中的Package Device上进行测试.下图就是一个完整的FT的测试系统。对比wafer test，其中硬件部分，prober换成了handler，其作用是一样的，handler的主要作用是机械手臂，抓取DUT，放在测试区域，由tester对其进行测试，然后handler再根据tester的测试结果，抓取DUT放到相应的区域，比如好品区，比如坏品1类区，坏品2类区等。在芯片测试机上进行的测试可以检测到芯片的缺陷，如电压偏移等。CMOS芯片测试机

芯片测试机能够进行快速芯片测试评估。CMOS芯片测试机

第二z轴移动组件24包括转矩电机240、高扭矩时规皮带241、两个同步带轮242、直线导轨243。转矩电机240固定于吸嘴基板232上，两个同步带轮242分别相对设置于吸嘴基板232的上下两侧，两个同步带轮242通过高扭矩时规皮带241相连，转矩电机240与其中一个同步带轮242相连。直线导轨243固定于吸嘴基板232上，真空吸嘴26通过滑块固定于直线导轨243上，滑块与高扭机时规皮带相连。转矩电机240驱动其中同步带轮242转动，同步带轮242带动高扭矩时规皮带241转动，高扭矩时规皮带241通过滑块带动真空吸嘴26在直线导轨243上上下移动。CMOS芯片测试机